اتاق تمیز ( Clean Room )
یک اتاق تمیز معمولاً به عنوان بخشی از تولید تخصصی صنعتی یا تحقیقات علمی مورد استفاده قرار می گیرد، از جمله ساخت اقلام دارویی، نمایشگرهای یکپارچه ، نمایشگرهای CRT ، LCD ، OLED و microLED.. تولید نیمه هادی، بیوتکنولوژی ، دستگاه های پزشکی همچنین تولید فرایندهای مهم که در هوا فضا ، نظامی و وزارت انرژی کاربرد زیادی دارند.
اتاق های تمیز برای حفظ سطوح از ذرات ریز طراحی شده اند، مانند گرد و غبار ، میکرو ارگانیسم های موجود در هوا یا ذرات تبخیر شده.
یک اتاق تمیز به هر فضای محدودی گفته می شود که در آن مقرر شده است تا آلودگی ذرات را کاهش داده و سایر پارامترهای محیطی مانند دما ، رطوبت و فشار را کنترل کند. مؤلفه اصلی فیلتر باکتری ذرات با راندمان بالا ((HEPA) است که برای به دام انداختن ذرات با 0.3 میکرون و اندازه بزرگتر استفاده می شود. تمام هوای تحویل داده شده به یک اتاق تمیز از فیلترهای HEPA عبور می کند و در برخی موارد در مواردی که عملکرد تمیزکاری دقیق لازم باشد ، از فیلترهای ذرات فوق کوچک (ULPA) استفاده می شود. اتاق های تمیز با استفاده از فیلترهای HEPA یا ULPA با استفاده از اصول جریان لایه ای یا آشفته هوا ، هوای بدون ذره را حفظ می کنند.
اتاق های تمیز بر اساس تمیز بودن هوا طبقه بندی می شوند. در استاندارد 209 فدرال آمریكا ، تعداد ذرات مساوی و بیشتر از 0.5 میكرومتر در یك فوت مكعب هوا اندازه گیری می شود و از این تعداد برای طبقه بندی اتاق تمیز استفاده می شود. اتاق های تمیز با توجه به تعداد و اندازه ذرات مجاز در هر حجم هوا طبقه بندی می شوند.
ISO 14644-1 Cleanroom Standards
Class | maximum particles/m3 | FED STD 209E equivalent |
|||||
>=0.1 µm | >=0.2 µm | >=0.3 µm | >=0.5 µm | >=1 µm | >=5 µm | ||
ISO 1 | 10 | 2 | |||||
ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | Class 1 | |
ISO 4 | 10,000 | 2,370 | 1,020 | 352 | 83 | Class 10 | |
ISO 5 | 100,000 | 23,700 | 10,200 | 3,520 | 832 | 29 | Class 100 |
ISO 6 | 1,000,000 | 237,000 | 102,000 | 35,200 | 8,320 | 293 | Class 1,000 |
ISO 7 | 352,000 | 83,200 | 2,930 | Class 10,000 | |||
ISO 8 | 3,520,000 | 832,000 | 29,300 | Class 100,000 | |||
ISO 9 | 35,200,000 | 8,320,000 | 293,000 | Room Air |
BS 5295 Cleanroom Standards
maximum particles/m3 | |||||
Class | >=0.5 µm | >=1 µm | >=5 µm | >=10 µm | >=25 µm |
Class 1 | 3,000 | 0 | 0 | 0 | |
Class 2 | 300,000 | 2,000 | 30 | ||
Class 3 | 1,000,000 | 20,000 | 4,000 | 300 | |
Class 4 | 20,000 | 40,000 | 4,000 |